超纯水设备是离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。它巧妙的将电渗析和离子交换技术相结合，利用两端电极高压使水中带电离子移动，并配合离子交换树脂 及选择性树脂膜以加速离子移动去除。在EDI除盐过程中，离子在电场作用下通过离子交换膜被清除。同时，水分子在电场作用下产生氢离子和氢氧根离子，这些 离子对离子交换树脂进行连续再生，以使离子交换树脂保持最佳状态。

超纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一。超纯水在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出。半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备，这是一种制取超纯水的首选工艺，也是一种环保，经济，发展潜力较大的超纯水制备工艺。